在奈米技術世代之前，光學晶圓檢測機台尚能克服線寬不斷微縮的挑戰，但在進入 90 奈米世代後，光學技術將面臨瓶頸，而以電子掃描顯微技術 ( E-beam ) 為核心技術的檢測機台，將逐漸躍居晶圓缺陷檢驗之主流。1998 年，看準這個發展趨勢與市場需求，在漢民科技集團 ( Hermes Epitek Corp. ) 董事長黃民奇的大力支持下，四位志同道合的頂尖科學家於美國矽谷成立 Hermes Microvision, Inc.，開始投入電子束晶圓檢測設備的研發。 2003 年，集結兩岸精英的研發團隊，成功開發出第一台「電子束缺陷檢測設備 ( E-beam Inspection Tool ) 」，以獨家的跳躍式掃描檢測及穩定的電子槍技術領先全球，提供業界更先進的檢測設備與技術，協助客戶有效提高前段製程效能，更將晶圓缺陷檢驗產品的技術層次，提昇進入全球高科技設備與零組件供應鍊中。 經營團隊並於 2003 年在台灣成立企業總部--漢民微測科技股份有限公司，開始展開全球業務及營運之佈局，爾後陸續於日本、韓國、中國大陸等區域設立子公司。 漢民微測秉持「幫客戶解決問題，成為客戶的夥伴，與客戶相互信任」的原則，為策略夥伴提供解決方案，完成 90 奈米、65 奈米、40 奈米、28 奈米，乃至於 20 奈米製程的開發與量產，並繼續朝16 奈米及10 奈米以下製程的檢測設備推進。時至今日，漢民微測所研發、製造的電子束檢測設備，其解析度及可靠度，已獲得全球前二十大晶圓大廠及記憶體大廠的肯定與青睞。 漢民微測以 HMI ( Hermes Microvision, Inc. ) 為產品品牌，完整的參與了開發設計、製造、國際銷售與服務，在過程中展現堅強的實力與堅定的意志。漢民微測集結兩岸三地及世界各地的的頂尖技術人才，以及專業的客戶服務，讓漢民微測 ( HMI ) 在世界級的半導體尖端製程設備中占有一席之地，也為半導體產業發展史寫下新的一頁。